一貫した応答を実現する、オンツールおよびオンサイトmfc最適化方法およびシステム

Abstract

初期調節済質量流量制御器弁開始位置を得る一方法は、質量流量制御器遅延期間を得るステップと、質量流量制御器弁を、予想最適弁開口位置未満の初期弁開口位置に設定するステップとを含む。初期所望流量および初期動作条件が、弁と通信している制御システムに入力され、制御システムが始動する。制御システムは、流量および制御システムに対する弁位置フィードバックを考慮に入れながら、弁開口位置を調節して初期所望流量を実現するように適合されている。MFCおよび制御システムの動作中、一実施形態では、弁位置および流量が記録され、閾値に達する流量、および閾値を超える流量の一方が検出される。制御システム始動から、閾値に達したこと、および閾値を超えたことの一方の検出まで及ぶ初期流量期間が求められ、初期流量期間からの質量流量制御器遅延期間が減じられて、調節済開始時間が得られる。調節済開始時間における弁開口位置が、初期調節済質量流量制御器弁開始位置として設定される。

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