Exposure device

露光装置

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a temperature difference caused inside a casing with rotation of a polygon mirror, thereby reducing the strain of the casing.SOLUTION: Polygon mirrors 114Y-114K of laser scanners 110Y-110K are arranged at positions where their rotation centers are away from the centers of respective casings 111Y-111K, and casing faces (high temperature faces) on the nearer side to the rotation centers of the polygon mirrors 114Y-114K and casing faces (low temperature sides) on the farther side from the rotation centers are connected with high heat transfer members 151 having higher heat conductivity than the casings 111Y-111K.
【課題】ポリゴンミラーの回転に伴い筺体内部に生じる温度差を低減することにより、筺体の歪を低減する。 【解決手段】レーザースキャナー110Y〜110Kのポリゴンミラー114Y〜114Kを、その回転中心がそれぞれの筺体111Y〜111Kの中央から外れた位置に配置し、ポリゴンミラー114Y〜114Kの回転中心から近い側の筺体面(高温面)と回転中心から遠い側の筺体面(低温側)を、筺体111Y〜111Kよりも熱伝導率が高い伝熱部材151で連結する。 【選択図】図3

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Patent Citations (6)

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